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散泵是目前获得高真空的、主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。

影响油扩散泵性能的因素如下。

1、油扩散泵的返流。

2、气体分子的反扩散。

3、扩散泵油的裂化分解，一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内(室温下0.00000001Pa左右)，受热稳定性好，不易被氧化，分子量大的高沸点的液体，如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。

4、泵清洗不干净，污染物质留在泵内并重复循环，影响其真空度。

扩散泵系统的压强不稳定的原因，有内部和外部之分。泵外的原因有：①来自橡胶垫圈的气泡；②从障板上滴落下的泵油；③高的前级耐压；④阱除霜；⑤阱内冷冻层的。泵内的原因有：①泵油爆沸或沸腾不稳定；②在导流管外部油的沸腾；③轻气体的低压缩比；④喷咀内的液滴；⑤顶喷咀变冷（蒸汽冷凝）；⑥锅炉附近泄漏，泵体要检漏。

扩散泵的缺点是返油问题，加上挡油帽和冷阱及正确操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究，现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施，使扩散泵的返油率降得很低。所有的油扩散泵都存在一定程度的返流现象。返流的气体是少量残余的碳氢化合物。返流有两个不同性质的来源：泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动构成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发。利用好的锅炉和喷咀设计，可使主要的返流降至低。在顶喷咀上方设置水冷挡油帽，它已成为顶喷咀的拦截返油的水冷装置，由于不断对冷帽结构的改进，使主要返流大大降低。