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发布时间:2022-01-01 03:30:58
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通常扩散泵的性能是以极限真空、大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。
1.极限真空
如果对一般油扩散泵的结构进行改进,如减少油蒸气的返流,加分镏装置,合理分配加热功率,改进喷嘴角度设计,加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使扩散泵性能大大改善,极限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa,起始压力正好是机械泵的极限压力,因此,油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵,将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。
2.大反压强
大反压强是指扩散泵所允许的前置压强大值。如果前级泵所产生的压强高于大反压强,则扩散泵就不能正常工作。
3.抽气速率
扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。
4.设置冷阱及低温挡板的原因
扩散泵系统的压强不稳定的原因,有内部和外部之分。泵外的原因有:①来自橡胶垫圈的气泡;②从障板上滴落下的泵油;③高的前级耐压;④阱除霜;⑤阱内冷冻层的。泵内的原因有:①泵油爆沸或沸腾不稳定;②在导流管外部油的沸腾;③轻气体的低压缩比;④喷咀内的液滴;⑤顶喷咀变冷(蒸汽冷凝);⑥锅炉附近泄漏,泵体要检漏。
现代的油扩散泵在泵入口处,泵油的返流已降至大约室温下泵油蒸发速率的水平。
只有在使用时遵守一定的操作规程,才能保证系统的正常工作。前已详细叙述过有关机械泵、扩散泵的操作规程。经人们生产实践,对排气系统,也同样总结出来一套操作规程。以高真空排气系统为例(其他真空设备可仿照施行),其操作规程如下:①检查真空系统各部分,熟悉系统的气路结构,了解真空系统各元件的作用以及操作部分的电路联接。②关闭放气阀门,启动机械泵,对系统进行抽气,并随时用火花检漏器对系统各部分进行检漏。如系全金属系统,则可关闭阀门,用真空计读数记下P-t曲线(作静态升压试验)。如压强随时间呈直线上升,可断定系统有漏气源,应进行检漏。③当系统真空度达到油扩散泵的前置压强(5×10-2托)后,启动扩散泵,使加热电流逐渐升到额定(佳)值。在启动扩散泵前,必须先开冷却水。④扩散泵正常工作后,用火花检漏器(或热偶计)判断量测系统的真空度。到10-3托以上(热偶计近满偏或95格以上)才能使用电离真空计。使用时先对规管除气,后测量真空度。
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