龙岩半导体真空泵维修服务至上「厦门太星机电」

厦门太星机电有限公司拥有十多年真空行业经验和销售及维修工程师团队组成，公司提供国外及国内厂家生产的真空泵，检漏仪，分子泵，扩散泵，水环真空泵，螺杆真空泵，罗茨泵，真空测量，真空泵油及其备品备件。

散泵是目前获得高真空的、主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。

影响油扩散泵性能的因素如下。

1、油扩散泵的返流。

2、气体分子的反扩散。

3、扩散泵油的裂化分解，一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内(室温下0.00000001Pa左右)，受热稳定性好，不易被氧化，分子量大的高沸点的液体，如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。

4、泵清洗不干净，污染物质留在泵内并重复循环，影响其真空度。

由于扩散泵喷嘴喷出来的油蒸气分子，大部分由泵壁冷凝，这是因为泵壁外设置冷却水套或冷却管道的缘故。但是有少部分蒸气分子被泵壁反射，散射会返回被抽空间，这种现象在低温实验室中要特别注意。如在扩散泵和被抽容器之前加上冷阱或低温挡板，这样就能使返加的蒸气被冷凝下来，截止了油蒸气的返流。

扩散泵系统的压强不稳定的原因，有内部和外部之分。泵外的原因有：①来自橡胶垫圈的气泡；②从障板上滴落下的泵油；③高的前级耐压；④阱除霜；⑤阱内冷冻层的。泵内的原因有：①泵油爆沸或沸腾不稳定；②在导流管外部油的沸腾；③轻气体的低压缩比；④喷咀内的液滴；⑤顶喷咀变冷（蒸汽冷凝）；⑥锅炉附近泄漏，泵体要检漏。

扩散泵维修***对系统进行烘烤去气处理。对玻璃系统而言，硬玻璃烘烤温度为400℃～450℃ ，软玻璃为350℃～400℃ 。去气时间视具体要求而定，一般1～2小时。去气完后，真空度仍达不到要求，应使用电离计记P-t曲线，以判断是否漏气。亦可用、酒精等涂抹处，看表针的摆动以发现漏孔。若为去气不良，应进一步烘烤，加长时间去气。新系统一般要抽较长时间才能达到预期的真空度。真空度老上不去，则要考虑系统设计、安装是否合理，有无死空间，放气源多否，维修时是否带进了脏物，被抽容器是否清洁等其他因素。